Экзаменационные вопросы по курсу 
"Методы исследования материалов и изделий электронной техники"
Петров Анатолий Арсеньевич

1.	Классификация методов диагностики материалов электронной техники.
2.	Взаимодействие электронов с твердым телом. Вторичная электронная эмиссия.
3.	Энергетический спектр вторичных электронов. Использование ВЭЭ.
4.	Методы измерения энергетических спектров элементов. Энергоанализаторы.
5.	Сечение рассеяния. Прицельный параметр. Формула Резерфорда.
6.	Сечение ударной ионизации.
7.	Механизмы потерь энергии электронами в твердых телах. Плазмоны.
8.	Длина свободного пробега.
9.	Потери энергии на единицу длины. Пробег электронов в твердом теле.
10.	Эффект Оже. Обозначения Оже - переходов. Энергия Оже - электронов.
11.	Электронная Оже - спектроскопия. Приборная реализация метода.
12.	Применения ЭОС. Количественный анализ.
13.	Послойный анализ в ЭОС.
13.	РЭМ - метод исследования поверхностей твердых тел.
14.	Механизмы формирования контраста в РЭМ.
15.	Электронная пушка. Детектор вторичных электронов. Особенности конструкции и основные параметры.
16.	РСМА - метод элементного анализа твердых тел.
18.	Излучательные переходы. Спектроскопические обозначения. Правила отбора.
17.	Спектроскопия   с   дисперсией   по   длине   волны.   Пропорциональный   счетчик. Одноканальный анализатор.
18.	Спектроскопия с дисперсией по энергии. Детекторы ионизирующего излучения. Многоканальный анализатор.
19.	Количественный анализ в РСМА. ZAF - коррекция.
20.	Поглощение рентгеновского излучения. Сечение фотоэффекта.
21.	Источники рентгеновского излучения для РФЭС.
22.	Теорема Коопмана.  Энергетический спектр  фотоэлектронов.  Спектрометры для РФЭС.
23.	РФЭС - метод химического анализа поверхности твердых тел. Химические сдвиги.
24.	Взаимодействие ионов средних энергий с поверхностью твердых тел. Физические явления.
25.	Кинематика упругих столкновений быстрых атомных частиц.
28.	РБИ - метод исследования распределения элементов по глубине образца.
26.	Потери энергии легкими ионами в твердых телах. Ядерные и электронные потери энергии.
27.	Ширина спектра энергии в обратном рассеяния легких ионов.
28.	Рассеяние медленных ионов.
32.	Ионное распыление. Теория Зигмунда.
33.	ВИМС. Физические основы метода.
34.	Количественный анализ в методе ВИМС. 
35.	ВИМС. Приборная реализация метода.

Зав.кафедрой микроэлектроники             Д.т.н. проф.	Таиров Ю.М.